三星电子已经开始开发其"智能感测系统",旨在提高产量,并彻底改变其半导体工厂的运营方式。据DigiTimes援引ET News的报道,该系统主要设计用于实时监测和分析生产过程,并且目前可以自动处理等离子体的均匀性。最终,三星计划在2030年之前实现其工厂的全自动化,无需人力劳动。
三星的终极目标是在2030年建立全无人半导体生产设施。要实现这个目标,就需要开发能管理大量数据并自动优化设备性能的系统。"智能感测系统"就是这个计划的重要部分,预计将在实现这些智能、全自动化的工厂中发挥关键作用。三星目前正在向像智能传感器这样的项目投入数千万韩元,希望其投资能够长期得到回报。
目前正在开发的智能传感器旨在测量晶片上等离子体的均匀性。由于蚀刻、沉积和清洗等半导体制造过程的结果在很大程度上受到等离子体均匀性的影响,因此准确地测量和管理这一方面至关重要。
这个系统的开发是一个团队合作的成果,涉及到与合作伙伴和学术机构的协作。这些新传感器的一个重要特点是它们的尺寸非常小:它们可以适应现有的工厂,不需要额外的空间,这在洁净室中是非常宝贵的。
值得注意的是,这些传感器是在韩国设计和制造的。像三星这样的韩国芯片制造商过去通常严重依赖外国工具进行此类先进的过程。开发自家的智能感测系统标志着一个重大的改变,因为它在一定程度上减少了对外国工具的依赖,尽管三星使用的大部分工具仍然在国外生产。
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