，据彭博社报道，ASML 新一代 EUV 光刻机每台耗电约 1 百万瓦，约为前几代设备的 10 倍，预计 2025 年将占中国台湾省整体能源消耗的 12.5%，芯片行业可能成为减少全球碳排放的重要绊脚石。
据中国台湾《经济日报》，针对外媒提到台积电发展先进制程，耗费不少电力的消息，该公司 8 月 26 日引述 2020 年工研院产业科技国际策略发展所（ISTI）模型推导分析结果，称台积电每使用 1 度生产用电，能为全球减省 4 度电。
台积电表示，公司持续推进半导体高阶制程技术，生产更先进、更具能源效率及更环保的产品，此外，公司积极投入绿色制造，落实节能减碳相关作为，包括致力优化制程能源使用效率，同时和机台设备商合作开发新的节能行动方案。
IT之家了解到，台积电生产对于环境的影响程度，主要取决于发电来源。
业内人士指出，中国台湾有许多需要运行如此高耗能设备的芯片厂，使得可再生能源变得重要和紧迫，但台湾省却严重依赖化石燃料。
值得一提的是，中国台湾在 2016 年制定一个目标，到 2025 年要使 20% 电力来自可再生能源。然而，从 7 月的最新能源审查显示，截至 2021 年底，只有 6% 电力来自可再生能源，促使其下调 2025 年的目标至 15%。
整体来说，虽然有机会找到用更环保的方式制造芯片，但没有任何厂商愿意放慢脚步。
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